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- 1、橢偏儀是測什么的
橢偏儀是測什么的
1、半導(dǎo)體芯片制造中常用的薄膜厚度測量方法主要有三種：四探針法、橢偏儀和X射線熒光光譜法。四探針法：原理：采用四個等距探針接觸樣品，通過外部探針提供電流，內(nèi)部探針測量電壓降，從而計(jì)算出薄膜方塊電阻率，再通過特定公式反推出薄膜厚度。適用范圍：此方法適用于測量不透明導(dǎo)電膜的厚度。
2、反射式膜厚測量儀：一般是利用白光干涉的原理，通過測量光波經(jīng)樣品反射后幅值（或者說光強(qiáng)）的變化來獲得膜層的厚度d、折射率n和消光系數(shù)k信息。二者適用范圍不同：橢偏儀適合：厚度為0.1nm到幾微米的薄膜測量，其厚度測量精度可達(dá)到原子層量級，即0.1nm以下。
3、利用橢偏儀測量薄膜厚度與折射率時(shí)，對角度的要求主要基于光學(xué)原理及儀器特性的限制。首先，橢偏儀的工作原理是通過測量光在不同角度入射時(shí)薄膜上產(chǎn)生的偏振光變化，從而計(jì)算出薄膜的光學(xué)性質(zhì)，包括厚度和折射率。對于薄膜厚度的測量，橢偏儀能夠提供一定的準(zhǔn)確性，但納米級薄膜的測量存在一定的挑戰(zhàn)。
4、橢偏儀測薄膜厚度的基本原理如下：橢偏儀通過使用一系列的偏振器和相位板，改變?nèi)肷涔獾钠駪B(tài)，如線偏振或橢圓偏振，在通過薄膜后，根據(jù)薄膜對入射光偏振態(tài)的影響，可得到反射光和透射光的偏振態(tài)。
5、四探針法是一種測量薄膜方塊電阻率的技術(shù)。此方法采用四個等距探針接觸樣品，兩個外部探針提供電流，兩個內(nèi)部探針測量電壓降，從而計(jì)算出薄膜方塊電阻率。通過特定公式反推，即可得到薄膜厚度。此方法適用于測量不透明導(dǎo)電膜的厚度。橢偏儀是一種非接觸、非破壞性光學(xué)測量技術(shù)。
6、四探針法，又稱四點(diǎn)共線探針法，是一種用于測量薄膜方塊電阻率的技術(shù)。通過四點(diǎn)共線探針，可以獲取材料的方塊電阻率。根據(jù)方塊電阻率和測量的電壓、電流數(shù)據(jù)，通過特定公式反推，能計(jì)算出薄膜厚度。這種方法主要用于測量不透明導(dǎo)電膜的厚度。
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